Internationale Fachmesse für Druckguss: Technik, Prozesse, Produkte

18. - 20. Januar 2022 // Nürnberg, Germany

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Aussteller & Produkte EUROGUSS 2022
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Konforme optische Beschichtungen für komplex-geometrische Substrate

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Konforme optische Beschichtungen für komplex-geometrische Substrate

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Konforme und uniforme Schichtsysteme auf komplex-geometrischen 2D- und 3D-Substraten

Eine sehr hohe Schichtdickenuniformität und eine präzise Dickenkontrolle sind für optische Anwendungen unerlässlich, da Abweichungen von den Zielwerten die optische Leistung beeinträchtigen. Mit Hilfe der Atomlagenabscheidung kann eine hohe Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit der Schichtabscheidung auch auf komplex-geometrischen Substraten erreicht werden.  

Wirtschaftliche Hochdurchsatzprozesse mittels örtlicher Atomlagenabscheidung

Während konventionelle ALD-Anlagen zeitaufwändige Spülroutinen erfordern ermöglicht die örtliche Atomlagenabscheidung eine hohe Beschichtungsrate unter Beibehaltung der Beschichtungstechnologievorteile. Durch die Integrationsmöglichkeit weiterer Beschichtungs- und Aktivierungstechnologien in einem Hybridbereich können die Vorteile anderer Technologien (z.B. PVD, CVD) in dieser Anlage umgesetzt werden, um innovative Schicht- und Materialsysteme für innovative Lösungen zu entwickeln.

Ihr Partner für konforme Optikbeschichtungen

Am Fraunhofer IST bieten wir Kundinnen und Kunden aus Industrie und Forschung anwendungsspezifische und flexible Lösungen im Bereich konformer Batch- sowie Hochdurchsatzbeschichtungen an, und zwar von der Prozessentwicklung bis hin zur Entwicklungen maßgeschneiderter Schichtsysteme.

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